0.05ppm 레이저 간섭계 측정 시스템 1nm 결의안

1. 측정 방법: 단일 주파수

1. 대기 온도 센서 : ±0.1℃ (0-40)℃, 분해능: 0.01℃

2. 레이저 주파수 정확도: 0.05ppm

2. 물질 온도 센서: ±0.1℃ (0-40)℃, 분해능: 0.01℃

3. 동적 캡처 속도: 50kHz

3. 대기 습도 센서: ±5%(0-95%)

4. 예열 시간: 약 6분

4. 대기압 센서: ±0.1kPa(65~115)kPa

5. 작동 온도: (0-40)℃

6. 환경 온도: (0-40)℃, 습도: 0-95%

7. 보관 온도: -20℃-70℃

1. 측정 범위: (0-80)m

1. 축 범위: (0-15)m

2. 측정 정확도: 0.5ppm(0-40)℃

2. 측정 범위: ±10°

3. 측정 해상도: 1nm

3. 정확도: ±(0.02%R+0.1+0.24M)" (R은 표시 값, 단위:", M은 측정된 길이(m))

4. 최대 측정 속도: 4m/s

4. 측정 해상도: 0.1″

1. 축 범위: (0-15) m

2. 평탄도 측정 범위: ±1.5mm

3. 정확도: ±(0.2%R+0.02M2) μm

4. 기질 크기: 조정가능한 180mm, 조정가능한 360mm

5. 측정 분해능: 0.1μm

짧은 직진도

(0.1-4)m

±3.0mm

±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm

0.01μm

긴 진직도

(1-20)m

±3.0mm

±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm

0.01μm

참고: R은 μm 단위의 값을 나타냅니다.M은 미터 단위로 측정된 길이입니다.

짧은 직진도

(0.1-3)m

±3.0mm

±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m

0.01μm

긴 진직도

(1-15)m

±3.0mm

±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

0.01μm

참고: R은 μm 단위의 값을 나타냅니다.M은 미터 단위로 측정된 길이입니다.