| 제품명: | SJ6000 레이저 간섭계 측정 시스템 | 선형 측정 범위: | 0~80m |
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| 해결: | 1nm | 레이저주파수 정확도: | 0.05ppm |
| 작동 온도:: | (0-40)C | 동적 포착 속도 :: | 50KHz |
| 강조하다: | 0.05ppm 레이저 간섭계 측정 시스템,1nm 레이저 간섭계 측정 시스템,1nm 치환 측정 간섭계 |
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레이저 간섭계는 빛의 파장을 기준으로 하는 고정밀, 고감도 측정 방법으로 인정받고 있으며, 하이엔드 제조 분야에서 널리 사용됩니다. SJ6000 레이저 간섭계 시스템은 미국 공급업체의 고주파 헬륨-네온 레이저 발생기, 고정밀 환경 보정 모듈, 고급 레이저 간섭 신호 처리 및 고성능 컴퓨터 제어 시스템을 통합합니다.
레이저 이중 종단 모드와 기하학적 매개변수 간섭 광 경로 설계를 이용한 열 주파수 안정화 기술을 활용하여, SJ6000은 약 6분 이내에 장기적으로 안정적이고 고정밀(0.05ppm) 레이저 출력을 제공하며 강력한 간섭 방지 성능을 갖습니다. 다양한 프리즘 모듈을 사용하여 선형성, 각도, 직진도, 평탄도, 직각도를 측정하고 동적 특성을 분석합니다.
| 시스템 매개변수 | 환경 센서 |
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측정 방법: 단일 주파수 레이저 주파수 정확도: 0.05ppm 동적 캡처 속도: 50kHz 예열 시간: ~6분 작동 온도: 0-40°C 환경: 0-40°C, 0-95% 습도 보관 온도: -20°C ~ 70°C |
대기 온도: ±0.1°C (0-40°C), 0.01°C 해상도 재료 온도: ±0.1°C (0-40°C), 0.01°C 해상도 대기 습도: ±5% (0-95%) 대기압: ±0.1kPa (65-115kPa) |
| 선형 측정 | 각도 측정 |
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측정 범위: 0-80m 측정 정확도: 0.5ppm (0-40°C) 해상도: 1nm 최대 속도: 4m/s |
축 범위: 0-15m 측정 범위: ±10° 정확도: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ 해상도: 0.1″ R = 지시 값 (″), M = 측정 길이 (m)
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| 평탄도 측정 | |
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| 축 범위: 0-15m | 측정 범위: ±1.5mm |
| 정확도: ±(0.2%R+0.02M²) μm | 해상도: 0.1μm |
| 기판 크기: 180mm 조절 가능, 360mm 조절 가능 | |
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R = 지시 값 (μm), M = 측정 길이 (m)
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| 직진도 측정 | 단거리 직진도 | 장거리 직진도 |
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| 축 범위 | 0.1-4m | 1-20m |
| 측정 범위 | ±3.0mm | ±3.0mm |
| 정확도 | ±(0.5+0.25%R+0.15M²) μm | ±(5.0+2.5%R+0.015M²) μm |
| 해상도 | 0.01μm | 0.01μm |
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R = 지시 값 (μm), M = 측정 길이 (m)
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| 직각도 측정 | 단거리 직진도 | 장거리 직진도 |
|---|---|---|
| 축 범위 | 0.1-3m | 1-15m |
| 측정 범위 | ±3.0mm | ±3.0mm |
| 정확도 | ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m |
| 해상도 | 0.01μm | 0.01μm |
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R = 지시 값 (μm), M = 측정 길이 (m)
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