| 제품명: | SJ6000 레이저 간섭계 측정 시스템 | 선형 측정 범위: | 0~80m |
|---|---|---|---|
| 해결: | 1nm | 레이저주파수 정확도: | 0.05ppm |
| 작동 온도:: | (0-40)C | 동적 포착 속도 :: | 50KHz |
| 강조하다: | 단일 주파수 레이저 간섭계,0.05ppm 측정기,1nm 결의안 측정기 |
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레이저 인터페로미터 (Laser interferometer) 는 고정밀, 고 민감도 측정 방법으로 인식되며, 빛의 파장을 기준으로 사용하며, 고급 제조 분야에서 널리 사용됩니다.SJ6000 레이저 인터페로미터 시스템은 미국 공급업체에서 고주파 헬륨-네온 레이저 발전기를 통합했습니다., 고정밀 환경 보상 모듈, 고급 레이저 간섭 신호 처리, 고성능 컴퓨터 제어 시스템
레이저 듀얼 길이 모드 및 기하학적 매개 변수 간섭 광 경로 설계의 열 주파수 안정화 기술을 활용하여, SJ6000은 장기적으로 안정적이고 높은 정밀도를 제공합니다 (0.05ppm) 레이저 출력 빠른 (약 6분) 강력한 반 간섭 성능. 다른 프리즘 모듈을 통해 선형성, 각도, 직성, 평면성,수직성, 그리고 동적 특성을 분석합니다.
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 측정 방법 | 단일 주파수 |
| 레이저 주파수 정확성 | 00.05ppm |
| 동적 캡처 속도 | 50kHz |
| 가열 시간 | 약 6분 |
| 작동 온도 | (0-40) °C |
| 환경 조건 | 온도: (0-40) °C, 습도: 0-95% |
| 저장 온도 | -20°C ~ 70°C |
| 센서 타입 | 사양 |
|---|---|
| 대기 온도 센서 | ±0.1°C (0-40)°C, 해상도: 0.01°C |
| 재료 온도 센서 | ±0.1°C (0-40)°C, 해상도: 0.01°C |
| 대기 습도 센서 | ±5% (0-95%) |
| 대기 압력 센서 | ±0.1kPa (65-115) kPa |
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 측정 범위 | (0-80)m |
| 측정 정확성 | 00.5ppm (0-40) °C |
| 측정 해상도 | 1nm |
| 최대 측정 속도 | 4m/s |
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 축 범위 | (0-15)m |
| 측정 범위 | ±10° |
| 정확성 | ±(0.02%R+0.1+0.24M) ′′ (R는 값, 단위: ′′를 나타냅니다. M는 m로 측정된 길이입니다.) |
| 측정 해상도 | 0.1′′ |
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 축 범위 | (0-15)m |
| 평면 측정 범위 | ±1.5mm |
| 정확성 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R는 μm의 값을 나타냅니다. M는 m에서 측정 된 길이를 나타냅니다.) |
| 기판 크기 | 180mm 조절, 360mm 조절 |
| 측정 해상도 | 00.1μm |
| 종류 | 축 범위 | 측정 범위 | 정확성 | 결의 |
|---|---|---|---|---|
| 짧은 직선 | (0.1-4)m | ±3.0mm | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 00.01μm |
| 긴 직선 | (1-20)m | ±3.0mm | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 00.01μm |
| 종류 | 축 범위 | 측정 범위 | 정확성 | 결의 |
|---|---|---|---|---|
| 짧은 직선 | (0.1-3)m | ±3.0mm | ± ((2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 00.01μm |
| 긴 직선 | (1-15)m | ±3.0mm | ± ((2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 00.01μm |