0.05ppm 레이저 간섭계 측정 시스템 1nm 결의안

1. 측정법 : 단일 주파수

1. 대기 온도 센서 : ±0.1C (0-40)C, 결의안 : 0.01C

2. 레이저주파수 정확도 : 0.05ppm

2. 소재 온도 센서 : ±0.1C (0-40)C, 결의안 : 0.01C

3. 동적 포착 속도 : 50kHz

3. 대기 습도 센서 : ±5% (0-95%)

4. 워밍업 시간 : 약 6 분

4. 대기압 센서 : ±0.1kPa (65~115)kPa

5. 작동 온도 : (0-40)C

6. 환경 온도 : (0-40)C, 습도 : 0-95%

7. 저장 온도 : -20C-70C

1. 측정 범위 : (0-80)Ｍ

1. 축방향 범위 : (0-15)Ｍ

2. 측정 정확도 : 0.5ppm (0-40)C

2. 측정 범위 : ±10'

3. 측정 해상도 : 1nm

3. 정확도 : ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (Ｒ는 가치, 유닛을 보여주고 있습니다 : ″;Ｍ는m)에 측정한 길이입니다

4. 최대 측정 속도 : 4m/s

4. 측정 해상도 : 0.1″

1. 축방향 범위 : (0-15) Ｍ

2. 평탄성 측정 범위 : ±1.5 밀리미터

3. 정확도 : ±(0.2%R+0.02M2) μm (Ｒ는 μm에서 가치를 보여주고 있습니다 ;Ｍ는m)에 측정한 길이입니다

4. 기판 사이즈 : 조정할 수 있는 180 밀리미터, 조정할 수 있는 360 밀리미터

5. 측정 해상도 : 0.1μm

짧은 곧음

(0.1-4)Ｍ

±3.0mm

±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm

0.01μm

긴 곧음

(1-20)Ｍ

±3.0mm

±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm

0.01μm

기록 : Ｒ는 μm에서 가치를 보여주고 있습니다 ; Ｍ는 미터에 측정한 길이입니다

짧은 곧음

(0.1-3)Ｍ

±3.0mm

±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m

0.01μm

긴 곧음

(1-15)Ｍ

±3.0mm

±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

0.01μm

기록 : Ｒ는 μm에서 가치를 보여주고 있습니다 ; Ｍ는 미터에 측정한 길이입니다