| 감지기: | 디지털형 윤곽센서&표준형 헤드 없음 거칠기 센서 | 소프트웨어: | CMS 윤곽 측정 시스템&RMW 표면 거칠기 측정 및 분석 시스템 |
|---|---|---|---|
| 응모자: | 굴절식 암 베어링, 광학 등급 게르마늄 크리스탈, 씰 링, 터보 씰 등 | 윤곽 정확도: | ±2' |
| 거: | Rsk,Rku,Rsm,Rsm,Rs,RΔq,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,Rmr | 정격 길이: | λcX2,3,4,5,6,7 |
| x 축: | 0.1~10mm/s | z 축: | 0.5-10mm/초 |
| 강조하다: | 10 밀리미터 / S는 측정기를 윤곽을 그립니다,기구를 측정하는 Rsk 거칠기 윤곽,기구를 측정하는 Rku 거칠기 |
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| 사양 | PR1103G-sdk |
|---|---|
| X축 측정 범위 | 100mm |
| Z축 측정 범위 | 320mm |
| Z1축 측정 범위 | C:±12.5mm/R:±420µm |
| 윤곽 정확도 Z1 선형 정밀도 | ±(1.5+|0.2H|)µm |
| 호 정확도 | ±(2+R/8)µm |
| 각도 정확도 | ±2´ |
| 직진도 | 0.8µm/100mm |
| 거칠기 정확도 선형 정밀도 | ±4% |
| 잔류 노이즈 | ≤0.02µm |
| 중복 값 | 1δ≤2nm |
| 차단 파장 | 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm |
| 평가 길이 | λcX2,3,4,5,6,7 |
| X축 구동 속도 | 0.1~10mm/s |
| Z축 구동 속도 | 0.5-10mm/s |